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晶圓關鍵尺寸測量
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TGV600是一款專為玻璃基板(TGV)板級制程開發的全功能量檢測設備,集成了顯微內應力定量測量、高速2D光學檢測(AOI)與3D形貌量測三大核心能力,覆蓋從TGV通孔加工到填充、布線、封裝的全流程質量監控需求。系統采用瞬時光彈測量應力定量測量核心技術,同時支持集成玻璃基板表面缺陷檢查,通孔2D參數測量及通孔凹陷3D量檢測功能,為TGV工藝提供快速全流程高性價比解決方案,是TGV工藝研發和質量監控
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