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LODAS™ – AI50/100是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

LODAS™ – BI12是列真株式會社推出的一款GlassWafe缺陷檢查裝置。

LODAS™ – LI系列是列真株式會社推出的一款FPD Photomask缺陷檢查裝置。

LODAS™ – CI8是列真株式會社推出的一款化合物半導體SiC、GaN晶圓檢查裝置。

海的超聲波顯微鏡以水作為耦合介質，將超聲波探頭與被測芯片浸沒，探頭發射的超聲波穿過水與塑封層，到達芯片內部界面（如 Die 與粘接層）；通過分析界面反射回波的差異，即可識別粘接層空洞、分層、脫粘等缺陷，實現對芯片內部結構的非破壞性質量檢測