
microVEGA FC 系統可針對半導體行業中的多種應用執行高通量激光微加工。該系統可用于編程數字邏輯電路、修調數字電位器,或修復芯片上的半導體存儲器。此外,它還能用于剔除失效的 MicroLED 像素。得益于其高度靈活的工具配置,microVEGA FC 可兼容 200 毫米和 300 毫米晶圓,從而在成本、產能、良率和工藝敏感性方面成為理想的量產解決方案。
高度多功能的激光微加工系統 3D-Micromac 公司的 microSTRUCT™ C 是一款高度靈活的激光微加工系統,主要用于產品開發和應用研究。其靈活性使其非常適用于在多種基材上進行激光結構化、切割、鉆孔和焊接等應用,例如金屬、合金、透明材料、生物材料、陶瓷以及薄膜復合體系。
TLS 劃片(熱激光分離)是一種獨特的技術,利用熱誘導產生的機械應力來分離硅(Si)、碳化硅(SiC)、鍺(Ge)等脆性半導體材料。該技術可將晶圓分割成芯片,同時實現邊緣質量,顯著提升制造良率與產能。與傳統的劃片技術(如刀片切割和激光燒蝕)相比,TLS 劃片工藝更潔凈,切割邊緣無微裂紋,并能獲得更高的抗彎強度。
高度多功能的激光微加工系統$n3D-Micromac 公司的 microSTRUCT™ C 是一款高度靈活的激光微加工系統,主要用于產品開發和應用研究。其靈活性使其非常適用于在多種基材上進行激光結構化、切割、鉆孔和焊接等應用,例如金屬、合金、透明材料、生物材料、陶瓷以及薄膜復合體系。
用于AR波導切割的高效率激光加工系統$n3D-Micromac 公司的 microPOLAR 激光微加工系統專為加工高折射率玻璃及其他透明晶體材料而設計。其的玻璃切割能力使其成為基于晶圓的增強現實(AR)波導分離與單片化處理的理想選擇。該系統高度靈活,并支持現場升級,既適用于研發用途,也能實現高良率的大規模量產。
用于半導體芯片上連接線切割的高精度激光修整$nmicroVEGA FC 系統可針對半導體行業中的不同應用執行高吞吐量的激光微加工。該系統將高精度工藝與高動態性能相結合。因此,其可能的應用包括:$n數字邏輯電路的編程,$n數字電位器的修整,$n芯片上半導體存儲器的修復,$n失效微LED的移除。